Cathodic arc synthesis of Ti-Si-C-N thin films from ternary cathodes
- Författare
- Linköpings universitet Anders Eriksson
- (Anders Eriksson., Licentiatavhandling Linköping : Linköpings universitet, 2010)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University | 2010 | Sverige, Linköping | 37 sidor illustrationer | 978-91-7393-273-8 |