Cathodic arc synthesis of Ti-Si-C-N thin films from ternary cathodes

Författare
Linköpings universitet Anders Eriksson
(Anders Eriksson., Licentiatavhandling Linköping : Linköpings universitet, 2010)
Genre
Avhandlingar, theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University 2010 Sverige, Linköping 37 sidor illustrationer 978-91-7393-273-8